model： euv-400v
light source： uv light
tube specification / quantity： 15w / 3
exposure time： 0 ~ 10 min
vacuum degree： ≤－0.7bar
max exposure area： 400×200 mm（thickness0.3 ~ 10 mm）
power： 220 ~ 240v 50 / 60hz 130w
machine dimension： 520×415×140 mm
machine weight：
